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產品詳細說明
2-6in桌上觸控輕便型旋轉塗佈機 (Tabletop Portable Touchscreen Spin Coater)
**超過35年的塗佈設備客製化設計與製程經驗,協助台灣大專院校、研究機構、與半導體與光電產業的塗佈製程研究開發。 **
**欣賢科技與工研院材化所合作超過10年,備有多套塗佈顯影設備,可共同協助客戶塗佈顯影製程的前期材料與製程評估。**
規格簡介:
●外觀尺寸:400mm(W)x450mm(D)x380mm(H)。
●基材:2”~6” Substrates。
●手動放片/手動供料
●主軸轉速:10~8,000 rpm (±3rpm)。
●驅動:DC Servo Motor。
●控制系統:PLC。
●記憶模組:10組。
●塗佈膜厚均勻性:≦±3% (4吋 Wafer九點測試)。
詳細旋轉塗佈介紹與均勻性測試請參考型錄下載區檔案說明,可針對客戶需求安排塗佈測試。